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產(chǎn)品描述
參數(shù)
大理石基座材質(zhì)：濟南青 or 印度石
工作面精度等級≤000級 非工作面等級≤0級，氣浮隔振器，光柵分辨率：1vpp模擬量，4096細分 4.88nm，可以選配50nm數(shù)字量或絕對值光柵
最大加速度：Y≥2g，X≥1g
最大速度：Y≥1m/s，X≥1m/s
重復定位精度：X≤±0.25um，Y≤±0.25um
定位精度：X≤±0.5um，Y≤±0.5um
直線度/平面度：≤2um/全行程
最大負載：50kg 有效負載：21kg（加速度計算負載）
未找到相應參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加
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